清洗機 - 億尚

本設備為大型APR版之洗淨裝置，可將APR版上之付著物洗淨除去，並以溫風乾燥。手動固定 APR版於自動搬運治具上，由自動搬運治具依序承載APR版由NMP清洗槽1，NMP清洗槽2，純水清洗槽，溫風乾燥槽進行清洗與烘乾的流程。清洗完成後手動取出。

本設備用於濕製程中玻璃洗淨系統。洗淨系統分為放料段、洗淨段、收料段。洗淨流程：入料輸送、中立、洗劑毛刷、水洗、高壓水洗、MS、潤濕、熱風風刀、離子消除、出料昇降。

主要用於液晶玻璃基板洗淨用途，玻璃基板置入casette後，投入浸泡，全自動高潔淨洗滌。洗淨槽採四面流溢，洗淨液循環過濾。洗淨槽及純水槽可以隨需求做增減。設備流程分為：投入段、洗淨段、熱烘段、取出段，四個流程。

本設備廣泛的適用於LCD製程，玻璃乾式洗浄用途。製程裝置UV為烘乾與潔浄功能設備，是利用滾輪來輸送玻璃，並使用UV結合O3對玻璃表面之有機化合物與UV/O3分解，產生再潔浄的效用。

1、用途：8 inch ( POD、CASSETTE、RETICLE POD ) CLEANER 。 2、洗淨方式：清洗物置入外籃，投入浸泡全自動洗滌。流程：1、投入段 2、洗淨段 3、取出段。