清洗機
主要用於液晶玻璃基板洗淨用途，玻璃基板置入casette後，投入浸泡，全自動高潔淨洗滌。洗淨槽採四面流溢，洗淨液循環過濾。洗淨槽及純水槽可以隨需求做增減。設備流程分為：投入段、洗淨段、熱烘段、取出段，四個流程。
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| 項目 | 規格內容描述 |
| 投入段 | casette 投入，以人工搬運casette置入。casette 投入後，採用氣缸升降移載方式投入。 |
| 洗淨段 | 本機構採用SUS304鏈條、鍍鉻鏈輪、日精牌的馬達減速器及扭力限制器以組成升降結構，並以 SENSOR 檢知設定上下限保護及扭力限制保護。 |
| 洗淨段的洗淨槽 | 每個洗淨槽皆裝置超音波1台，洗劑溫度設置攝氏55度，加設上下搖動機構，使裝有玻璃基板的casette投入洗淨槽後，經超音波震盪清洗，先震盪玻璃基板的particles，再上下搖動於洗淨液中，把particles完全剝離，達到高度潔淨效果。如此經過三個洗淨槽後，可以確保洗淨效果。 |
| 洗淨段的純水噴淋槽 | 純水溫度攝氏40度，用純水噴淋來去除casette及玻璃基板的洗劑。 |
| 洗淨段的純水槽 | 動作與洗淨槽相同。主要用於洗淨可能尚存的表面油脂或particles。第一個純水槽溫度攝氏50度，第二個純水槽溫度攝氏60度，第三個純水槽溫度攝氏70度。 |
| 洗淨段的水切槽 | 水切槽溫度攝氏80度。利用水溫及表面張力將附著的水珠引下，並加速水分蒸發。 |
| 熱烘段 | 溫度攝氏80度。本段為烘乾玻璃基板上的水分。利用heater加熱，以多翼式送風馬達吹送，經HEPA filter 過濾後送至烘乾室烘乾。烘乾室熱風回收循環加溫使用。 |
| 取出段 | 使用氣缸升降及移載機構取出烘乾後裝有玻璃基板的casette。 |