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本設備為大型APR版之洗淨裝置,可將APR版上之付著物洗淨除去,並以溫風乾燥。 手動固定 APR版於自動搬運治具上,由自動搬運治具依序承載APR版由NMP清洗槽1,NMP清洗槽2,純水清洗槽,溫風乾燥槽進行清洗與烘乾的流程。清洗完成後手動取出。
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