UV清洗機
本設備廣泛的適用於LCD製程，玻璃乾式洗浄用途。 製程裝置UV為烘乾與潔浄功能設備，是利用滾輪來輸送玻璃，並使用UV結合O3對玻璃表面之有機化合物與UV/O3分解，產生再潔浄的效用。
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| 項目 | 規格內容描述 |
| 設備機能 | 1.上下游滾輪傳輸連線。 2.人機介面觸控面板操作。 3.手自動連線系統切換。 |
| 設備能力 | 1.玻璃基板尺寸：370W x 470L x 0.5～1.1t。 2.料匣尺寸：依客戶需求。 3.作動時間：30秒內/片。 4.洗淨能力：接觸角10°以下。 5.Tact Time：30 sec/pc。 6.以素板投料試俥，素板接觸角在20° 以下。 |
| 操作環境 | 無塵室 1. 溫度：室溫 2. 濕度：65±5％ 3. 潔淨度：Class 1,000 (20pcf/cft,3μm)依美 FS 209D 之規定 |
| UV機單元 | 廠牌/型號： SEN Lights SUV 90 (20 支) 、波長： 254nm、照射距離： 10 mm 、照設強度： Min.500 mJ/cm2 、照設強度範圍： ±15％以下、燈管消耗電力： 1,800W、燈管有效長度： 453mm、 燈管壽命： 6000hr(哀退至70%, 此部份依燈管原廠資料為準)、 冷卻方式： 水冷、 總消耗電力： AC 200V ± 20V, ψ3, 60Hz, 1500VA、 冷卻水： 20 L/min(0.5MPa)。 |