晶圓盒清洗機
1、用途：8 inch ( POD、CASSETTE、RETICLE POD ) CLEANER 。 2、洗淨方式：清洗物置入外籃，投入浸泡全自動洗滌。 流程：1、投入段 2、洗淨段 3、取出段。
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| 項目 | 規格內容描述 |
| 作業能量 | POD：30個；CASSETTE：30個；RETICLE POD：10個 / 24hrs。 |
| TACT TIME | 15 min(可調) ＊ 每個外籃可置入4個8inch POD |
| 洗淨段的設備 | 1. 洗劑槽(超音波)。2. 純水噴淋槽。3. 純水槽(超音波)。4. 氣吹&烘乾槽。5. 洗淨移載。6. 超音波。 |
| 投入段 | 採用POWER ROLLER |
| 洗劑槽 | (A) 超音波1台。 (B) 溫度：約50℃。 (C) 上下搖動裝置： (C-1) 上下搖動功能：洗滌物經超音波震盪清洗後，再利用上下搖動於 洗液中完全將particles剝離，達到最佳洗淨效果。 (C-2) 上下搖動作動：採用馬達減速機，經偏心輪設計，(鏈輪與鏈條組合)， 以偏心位差產生上下搖動能。 |
| 純水噴淋槽 | (A)純水噴淋：噴淋時間可設定.(噴嘴採用擴散型)。 (B)純水溫度：約50℃。 |
| 純水槽 | (A) 超音波1台(全程作動)。 (B) 純水溫度：(約60℃)。 (C) 上下搖動裝置：同洗劑槽。 (D) 槽內純水自我循環過濾裝置。 |
| 氣吹&烘乾 | (A) 熱烘循環溫度：65℃。 (B) 本機構設置1 position。 (C) 熱烘源：利用Heater加熱，以多翼式送風馬達吹送，經 FILTER過濾後送至烘乾室(熱風回收循環加溫) ( FILTER過濾精度：0.3μm效率99.97 %以上)。 (E) 熱烘移載作動：將洗滌後之外籃移載至熱烘室，出入口裝置閘門。 (F) 熱烘移載結構：採用ROLLER傳送。 |
| 洗淨移載 | 全採用ROLLER傳送 |
| 超音波 | 複頻(共2台) |
| 取出段 | 取出烘乾後外籃 (1 position)，採用ROLLER傳送。 |