APR版清洗機
本設備為大型APR版之洗淨裝置，可將APR版上之付著物洗淨除去，並以溫風乾燥。 手動固定 APR版於自動搬運治具上，由自動搬運治具依序承載APR版由NMP清洗槽1，NMP清洗槽2，純水清洗槽，溫風乾燥槽進行清洗與烘乾的流程。清洗完成後手動取出。
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| 項目 | 規格內容描述 |
| 主要單元 | 1. NMP清洗段。2. 純水洗段。3. 溫風乾燥段。4. 熱水加熱裝置。5. 搬運機構。6. CO2消防系統。 |
| 操作環境要求 | 1.設備潔浄度：Class 1000。2. 環境溫度：20 ± 2 ℃。3.相對濕度：55 ± 10 %。 |
| APR 板尺寸 | 560L * 395W * 2.84T |
| 設備能力 | 1.洗淨能量：清洗時間為50 ~ 60 min / 片。 2.清洗方式：滾筒式。 3.加熱能力：熱水加熱模組，Max.60℃。 |
| NMP清洗段 | 以NMP 藥劑來清洗APR板，共分成二個區間，NMP 清洗槽 1和NMP 清洗槽 2。 |
| 設施需求 | 1.總耗電:162A=35.64Kva (請加入裕度) (BREAKER源頭請裝置200A)。 (A) Heater ψ3 [3Kw*3 ,5Kw*4 ,10Kw*2]=49Kw=130A (B) 其他:USW+MOTOR PUMP+SERVO MOTOR=12Kw=32A 2. 廠務供純水: 12L/min 管徑3/4"PT。 3. CDA: 600L/min (管徑1/2"PT, 快速接頭ψ12)。 4. 純水供給: 12L/min,管徑3/4"PT。 5. 純水排放: 20L/min,管徑1"PT (製程中排放: 12L/min)。 6. NMP排放: 20L/min,管徑1"PT。 7. 恆溫槽純水溢流: 20L/min,管徑1.5"PT。 8. 排氣量: Max. 50M3/min,管外徑ψ155(實用20M3/min，配合 CO2消防系統)。 |