枚葉式清洗機

本設備用於濕製程中玻璃洗淨系統。洗淨系統分為放料段、洗淨段、收料段。洗淨流程：入料輸送、中立、洗劑毛刷、水洗、高壓水洗、MS、潤濕、熱風風刀、離子消除、出料昇降。

項目	規格內容描述
洗淨速度	500X300mm,=>29 sec，430X364mm,=> 27sec， 363.4X306.67mm,=> 25 sec， 363.4X260mm,=> 25 sec， 455X365mm,=> 28 sec，原則上的設計以363.4X260mm玻璃尺寸的線速為主。
傳輸速度	1~3 M/min (可調)。
輸送高度	Pass Line = 1000 ± 20mm。
操作環境	1. 溫度：室溫。 2. 潔淨度：Class 1000 (300pcf/cft0.3μm)。 3. 耐化學性：耐強酸、耐強鹼。
放料段	將料匣中的基板一塊接一塊的藉由滾輪輸送至洗淨桶槽中。
洗淨段	本段共分成四個區間，毛刷、水洗、CJ及RINSE＋風刀。
洗淨段噴淋裝置	過濾精度： DI WATER-5μm，壓力錶： SUS 0~5 kg/cm2，流量： MAX.40L/min。
洗淨段桶槽過濾精度	CDA-0.02μm
高壓水洗噴淋裝置	過濾精度： DI WATER-0.45μm，壓力錶： SUS 0~5 kg/cm2，流量： MAX.80L/min。
RINSE＋風刀的噴淋裝置	過濾精度： DI WATER-0.2μm。壓力錶： SUS 0~5 kg/cm2。流量： 15~25 L/min。
RINSE＋風刀的風刀	過濾精度： CDA-0.02μm。壓力錶： SUS 0~5 kg/cm2。流量：共5000L/min (5 kg/cm2)。
收料段	將冷卻段中的基板一塊接一塊的藉由滾輪輸送至料匣中。