| SEMI 515mm x 510mm Panel FOUP 對應
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒，人員透過操作按鈕控制動作進行，將符合SEMI規範(E181.1 & E181.2)的晶圓盒移載至Load port端的承接口 |
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| SEMI 600mm x 600mm Panel FOUP 對應
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒，人員透過操作按鈕控制動作進行，將符合SEMI規範(E181.3 & E181.4)的晶圓盒移載至Load port端的承接口 |
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| SEMI 515mm x 510mm Panel FOUP 對應
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒，人員透過操作按鈕控制動作進行，將符合SEMI規範(E181.1 & E181.2)的晶圓盒移載至Load port端的承接口 |
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| SEMI 600mm x 600mm Panel FOUP 對應
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒，人員透過操作按鈕控制動作進行，將符合SEMI規範(E181.3 & E181.4)的晶圓盒移載至Load port端的承接口與雙層烤箱Load port端的承接口 |
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| PGV (Person Guided Vehicle)純手動版是透過人員操作CST入出料與升降，PGV符合SEMI規範人員操作簡單易學維護容易。 |
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