21M016 電量加大版
SEMI 515mm x 510mm Panel FOUP 對應
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒,人員透過操作按鈕控制動作進行,將符合SEMI規範
(E181.1 & E181.2)的晶圓盒移載至Load port端的承接口



項目 規格內容描述
Panel FOUP SEMI 515mm x 510mm Panel
外觀尺寸 W:782mm x D:1105mm x H:1180mm 重量:80Kg
叉取FOUP下方兩Pin距離 572+1mm
(SEMI x37b=572+1)
Load Port Passline 1050mm
叉取手臂升降高度(低位) 1000+2mm
叉取手臂升降高度(高位) 1100+2mm
ESD對應 本PGV所有腳輪均使用抗靜電的橡膠車輪,後輪具有避震效果,抗靜電指數1x10^5~10^9Ω
安全對策 本PGV以SEMI標準(standard)S2/S8為準則所設計,如需第三方機關認證,則單獨予以對應。
在按下EMO時,會立即切斷驅動裝置的電源供應,若沒有按下EMO解除開關及Reset開關,將無法供應電力。
電池驅動
(插拔式可替換電池)
型號:LFP-1P8S-2410
電量:240Wh(10000mAh)
輸出電壓:DC24V
充電電壓:AC100~240V專用充電器(外接式)
保護回路:過充電保護、過電流保護、過電圧保護、過温度保護等
使用時間:10小時 (升降頻率於 1次/5分鐘 之測試結果)
充電時間:2小時