19M036
SEMI 600mm x 600mm Panel FOUP 對應
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒,人員透過操作按鈕控制動作進行,將符合SEMI規範(E181.3 & E181.4)的晶圓盒移載至Load port端的承接口
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒,人員透過操作按鈕控制動作進行,將符合SEMI規範(E181.3 & E181.4)的晶圓盒移載至Load port端的承接口


















