20M002 多行程客製版
SEMI 600mm x 600mm Panel FOUP 對應
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒，人員透過操作按鈕控制動作進行，將符合SEMI規範(E181.3 & E181.4)的晶圓盒移載至Load port端的承接口與雙層烤箱Load port端的承接口
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒，人員透過操作按鈕控制動作進行，將符合SEMI規範(E181.3 & E181.4)的晶圓盒移載至Load port端的承接口與雙層烤箱Load port端的承接口
|
|
| 項目 | 規格內容描述 |
| Panel FOUP | SEMI 600mm x 600mm Panel |
| 外觀尺寸 | W:860mm x D:1547mm x H:1936mm 重量：190Kg |
| 叉取FOUP下方兩Pin距離 |
656+1mm (SEMI x37a=656+1) |
| 叉取手臂升降高度(低位) | 870+2mm |
| 叉取手臂升降高度(高位) | 940+2mm |
| OVEN上(放) | 1600± 2mm |
| OVEN上(取) | 1510± 2mm |
| LP(放) | 950± 2mm |
| LP(取) | 860± 2mm |
| OVEN下(放) | 567± 2mm |
| OVEN下(取) | 477± 2mm |
| ESD對應 | 本PGV所有腳輪均使用抗靜電的橡膠車輪，後輪具有避震效果，抗靜電指數1x10^5～10^9Ω |
| 安全對策 |
本PGV以SEMI標準(standard)S2/S8為準則所設計，如需第三方機關認證,則單獨予以對應。 在按下EMO時，會立即切斷驅動裝置的電源供應，若沒有按下EMO解除開關及Reset開關，將無法供應電力。 |
|
電池驅動 (電池內建) |
型號：24V 3S3P 9.4Ah 電量：225Wh(9400mAh) 輸出電壓：DC24V 充電電壓：AC100～240V專用充電器(外接式) 保護回路：過充電保護、過電流保護、過電圧保護、過温度保護等 使用時間：10小時 (升降頻率於 1次/5分鐘 之測試結果) 充電時間：2小時 |