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PGV
515mm x 510mm Panel FOUP PGV
600mm x 600mm Panel FOUP PGV
CST PGV
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600mm x 600mm Panel FOUP PGV
19M036
SEMI 600mm x 600mm Panel FOUP 對應
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒,人員透過操作按鈕控制動作進行,將符合SEMI規範
(E181.3 & E181.4)
的晶圓盒移載至Load port端的承接口
20M002 多行程客製版
SEMI 600mm x 600mm Panel FOUP 對應
PGV (Person Guided Vehicle)是透過高精密可控馬達驅動滾珠螺桿操作升降動作進行取放符合SEMI規範晶圓盒,人員透過操作按鈕控制動作進行,將符合SEMI規範
(E181.3 & E181.4)
的晶圓盒移載至Load port端的承接口與雙層烤箱Load port端的承接口
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