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主要用於液晶玻璃基板洗淨用途,玻璃基板置入casette後,投入浸泡,全自動高潔淨洗滌。洗淨槽採四面流溢,洗淨液循環過濾。洗淨槽及純水槽可以隨需求做增減。設備流程分為:投入段、洗淨段、熱烘段、取出段,四個流程。
本設備廣泛的適用於LCD製程,玻璃乾式洗浄用途。 製程裝置UV為烘乾與潔浄功能設備,是利用滾輪來輸送玻璃,並使用UV結合O3對玻璃表面之有機化合物與UV/O3分解,產生再潔浄的效用。
1、用途:8 inch ( POD、CASSETTE、RETICLE POD ) CLEANER 。 2、洗淨方式:清洗物置入外籃,投入浸泡全自動洗滌。 流程:1、投入段 2、洗淨段 3、取出段。
光罩盒清洗機
傳送盒清洗機
本體包含ion-bar、保護膜撕離機構、旋轉台面、PLC模組、人機介面。
鐵框貼膜機