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主要用於液晶玻璃基板洗淨用途,玻璃基板置入casette後,投入浸泡,全自動高潔淨洗滌。洗淨槽採四面流溢,洗淨液循環過濾。洗淨槽及純水槽可以隨需求做增減。設備流程分為:投入段、洗淨段、熱烘段、取出段,四個流程。
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