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本設備廣泛的適用於LCD製程,玻璃乾式洗浄用途。 製程裝置UV為烘乾與潔浄功能設備,是利用滾輪來輸送玻璃,並使用UV結合O3對玻璃表面之有機化合物與UV/O3分解,產生再潔浄的效用。
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