本设备为大型APR版之洗净装置，可将APR版上之付着物洗净除去，并以温风干燥。手动固定APR版于自动搬运治具上，由自动搬运治具依序承载APR版由NMP清洗槽1，NMP清洗槽2，纯水清洗槽，温风干燥槽进行清洗与烘干的流程。清洗完成后手动取出。

PRIM清洗机

钢网板清洗机

本设备用于湿制程中玻璃洗净系统。洗净系统分为放料段、洗净段、收料段。洗净流程：入料输送、中立、洗剂毛刷、水洗、高压水洗、MS、润湿、热风风刀、离子消除、出料升降。

主要用于液晶玻璃基板洗净用途，玻璃基板置入casette后，投入浸泡，全自动高洁净洗涤。洗净槽采四面流溢，洗净液循环过滤。洗净槽及纯水槽可以随需求做增减。设备流程分为：投入段、洗净段、热烘段、取出段，四个流程。

本设备广泛的适用于LCD制程，玻璃干式洗净用途。制程装置UV为烘干与洁净功能设备，是利用滚轮来输送玻璃，并使用UV结合O3对玻璃表面之有机化合物与UV/O3分解，产生再洁净的效用

1、用途：8 inch ( POD、CASSETTE、RETICLE POD ) CLEANER 。 2、洗净方式：清洗物置入外篮，投入浸泡全自动洗涤。流程：1、投入段2、洗净段3、取出段。