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本设备广泛的适用于LCD制程,玻璃干式洗净用途。制程装置UV为烘干与洁净功能设备,是利用滚轮来输送玻璃,并使用UV结合O3对玻璃表面之有机化合物与UV/O3分解,产生再洁净的效用
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