200mm SMIF晶圆载入机特色
●符合SEMI标准
●晶圆凸出检验及自动复归机构
●晶圆扫描、斜插及叠片检测功能
●定位精度达0.01mm
●Cycle Time<20秒
●具SECS Ι/ Ⅱ通讯功能
●模组化设计,节省制造成本,组装与维护容易
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