液晶脫泡機
本裝置適用於液晶脫泡用。
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| 項目 | 規格內容描述 |
| 性能 |
1、到達壓力 3.0Pa 以下。 2、排氣時間到達 3.0Pa (15 分以內)。 |
| 真空槽 | 300Wx300Dx300Hx8T (SUS304 製)， 外面、內面：抛光研磨處理。 |
| 真空排氣 | 乾式DUMP DVS-630(ULVAC) x1 |
| 真空計 | GP-1000 式 (ULVAC) |
| N2 導入 | N2 VALVE +BALL VALVE |
| 使用能源 | 電力：φ3 200V 2KVA。 空壓：0.5~0.7 MPa。 |