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200mm SMIF晶圓載入機
● 符合SEMI標準
● 晶圓凸出檢驗及自動復歸機構
● 晶圓掃描、斜插及疊片檢測功能
● 定位精度達0.01mm
● Cycle Time<20秒
● 具SECS Ι/ Ⅱ通訊功能
● 模組化設計，節省製造成本，組裝與維護容易
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